常見的真空爐真空測量方法

一、壓縮式真空計

壓縮式真空計，上接一根*封閉的毛細管，下端與“Y"形管的一端口相接，“Y"形管下方接汞儲存器，使用時，將真空系統與“Y"形管口相接，轉動真空計，是汞壓縮氣體，再轉至垂直位置讀取“測量毛細管"與“比毛細管"的液面差，即為所測真空度。壓縮真空計優點在于測量的準確性高，可作為真空計量的標準器。他的缺點是使用不夠方便，反應緩慢，不能連續測量。由于壓縮式真空計是根據氣體定律制作的，只能測量*性氣體分壓強，而不能測量蒸氣壓。在蒸汽分壓較大的真空系統中，壓縮式真空計的讀數不能標志其真空度。

二、熱導式真空計

利用真空系統中分子數與傳導熱量有關的原理制成熱導式真空計，電阻真空計和熱偶真空計兩種。通過電流時溫度升高，周期氣體被加熱，規管管壁溫度低，依靠周圍存在的氣體分子傳導熱量，電阻絲溫度變化，即反應了存在氣體分子多少。直接測量電阻絲的溫度很不方便，由于電阻絲的電阻值與溫度有關，故可用電橋測出其電阻數值。熱導式真空計的優點是：1，可測量總壓強；2，能連續測量；3，使用方便，可用導線進行遠距離測量；4，結構簡單，易于制造；其缺點是：1，有熱慣性，當壓強變化很快時，反應滯后；2，外界溫度對測量結果有一定的影響；3.電阻絲表面情況改變，可造成零點漂移，影響準確讀數。

三、電離真空計

是以氣體的電離現象為基礎來測量真空度大小的，可分為熱陰電離真空計和磁控放電真空計兩類。當在各加上一定電源時，燈絲處于白熾狀態，發出熱電子。這些電子與管內氣體分子碰撞，使氣體電離，產生整離子。證離子為離子收集，形成電流，隨著壓強的變化，電流也有變化。測量電流的大小，即可測出真空。熱陰電離真空計的優點是：1，可測總壓強；2，可連續測量；3，測量范圍廣，靈敏度很高；4，電離計規管體積小，可直接連通要測位置；5，對機械振動不敏感，慣性小；6，校準曲線是直線性；其缺點是：1，讀數與氣體種類有關，不同氣體要做不同曲線；2，燈絲是白熾狀態，真空系統突然漏氣或壓強突然升高，會使燈絲損壞；3，氣體被吸附在陰和收集表面，易產生測量誤差；4，在低壓強時，規管外殼與電放電現象影響讀數；

磁控放電真空計也是利用氣體放電原理，但在規管中沒有熱陰。規管中有兩個平行陰，兩個平行板中間有個框型電。整個規管的電部分都在磁場之中。由于外加磁場的作用和陽的框型，容易使電子穿越，造成電子在空間做來回多次的螺旋運動。增加電離的效果，真空計的靈敏度則隨之提高。其優點是：1，沒有熱陰存在，不會因漏氣而損害燈絲；2，測量總壓強，可連續測量；3，放電電流大，電路使用儀表簡單；4，結構牢固，對外界不敏感；其缺點是：在壓強條件下，它的靈敏度不及熱陰電離真空計高，對不同氣體也需要不同校準曲線。